कंपनी की खबर सेमीकंडक्टर विनिर्माण के लिए सीएमपी स्लरी फ़िल्टर कार्ट्रिज

सीएमपी स्लरी फिल्टर कारतूस एक उच्च प्रदर्शन फिल्टरेशन तत्व है जिसका उपयोग अर्धचालक विनिर्माण की रासायनिक यांत्रिक चमकाने की प्रक्रिया में किया जाता है। सीएमपी स्लरी में आमतौर पर घर्षण कण होते हैं,रासायनिक additives, oxidizers, stabilizers, और अन्य कार्यात्मक घटक। इसका उद्देश्य नियंत्रित सामग्री हटाने और वेफर्स पर सतह planarization प्राप्त करना है।

अतिशुद्ध जल या सामान्य रासायनिक निस्पंदन की तुलना में, सीएमपी स्लरी निस्पंदन अधिक जटिल है। निस्पंदन को अति-आकार के कणों, एग्लोमेरेट, जेल,चमकाने के लिए आवश्यक उपयोगी घर्षण कणों को हटाए बिना.

इसलिए, सीएमपी निस्पंदन केवल सबसे छोटे माइक्रोन रेटिंग का चयन करने के बारे में नहीं है। एक उपयुक्त सीएमपी फिल्टर कारतूस को कण नियंत्रण, स्लरी स्थिरता, प्रवाह प्रदर्शन, दबाव में गिरावट,और प्रक्रिया संगतता.

सीएमपी प्रक्रियाओं में, कण आकार वितरण चमकाने की गुणवत्ता से निकटता से संबंधित है। यदि अत्यधिक आकार के कण या एग्लोमेरेट चमकाने की प्रणाली में प्रवेश करते हैं, तो वे वेफर खरोंच का कारण बन सकते हैं,सतह दोष, अस्थिर निकासी दर, या उपज हानि।

साथ ही, यदि फ़िल्टर बहुत तंग है या स्लरी के लिए उपयुक्त नहीं है, तो यह उपयोगी घर्षण कणों को हटा सकता है, स्लरी गुणों को बदल सकता है, दबाव में गिरावट बढ़ा सकता है, या फ़िल्टर सेवा जीवन को छोटा कर सकता है।

सीएमपी स्लरी फिल्ट्रेशन के मुख्य उद्देश्यों में शामिल हैंः

• अति-आकार के कणों और संघटनों को हटाना।
• वेफर पॉलिशिंग के दौरान खरोंच के जोखिम को कम करना।
• स्थिर स्लरी कण वितरण बनाए रखना।
• नीचे के पंपों, वाल्वों, नोजल और पॉलिशिंग टूल्स की सुरक्षा करना।
• लगातार चमकाने के प्रदर्शन और प्रक्रिया स्थिरता का समर्थन करना।

फ़िल्टर सामग्री का चयन स्लरी के रसायन, घर्षण के प्रकार, पीएच मूल्य, ऑक्सीकरण घटकों, प्रवाह दर और स्वच्छता की आवश्यकता पर निर्भर करता है।

• यूपीई फिल्टर कारतूस आमतौर पर उच्च शुद्धता वाले स्लरी और इलेक्ट्रॉनिक रासायनिक निस्पंदन में उपयोग किए जाते हैं क्योंकि उनके कम निकालने योग्य, अच्छी स्वच्छता और स्थिर कण प्रतिधारण प्रदर्शन के कारण।
• पीपी फिल्टर कारतूस पीपी सामग्री कई औद्योगिक और इलेक्ट्रॉनिक तरल अनुप्रयोगों में अच्छी लागत नियंत्रण और व्यापक संगतता प्रदान करती है।
• पीईएस फिल्टर कारतूसकुछ पानी आधारित स्लरी अनुप्रयोगों के लिए चुना जा सकता है जहां अच्छे प्रवाह प्रदर्शन और स्थिर निस्पंदन दक्षता की आवश्यकता होती है।
• पीटीएफई फिल्टर कारतूस विशेष रासायनिक वातावरण के लिए विचार किया जा सकता है जिसमें अधिक रासायनिक प्रतिरोध की आवश्यकता होती है।

वास्तविक सीएमपी अनुप्रयोगों में, संगतता की समस्याओं या द्वितीयक संदूषण से बचने के लिए फिल्टर मीडिया, समर्थन परत, कोर, पिंजरे, अंत टोपी और सीलिंग सामग्री का एक साथ मूल्यांकन किया जाना चाहिए।

सीएमपी स्लरी फिल्टरेशन की सटीकता स्लरी के प्रकार और प्रक्रिया लक्ष्य पर निर्भर करती है। विभिन्न सीएमपी प्रक्रियाओं के लिए अलग-अलग फिल्टरेशन स्तर की आवश्यकता हो सकती है।कुछ अनुप्रयोगों में बड़े कणों और एग्लोमेरेट को हटाने पर ध्यान केंद्रित किया जाता है, जबकि अन्य को सब-माइक्रोन प्रदूषकों के बेहतर नियंत्रण की आवश्यकता होती है।

हालांकि, छोटे छिद्रों का आकार हमेशा बेहतर नहीं होता है। यदि फ़िल्टर बहुत अधिक सामान्य घर्षण कणों को बरकरार रखता है, तो यह स्लरी की प्रभावी कण एकाग्रता को बदल सकता है और चमकाने के प्रदर्शन को प्रभावित कर सकता है.यदि फ़िल्टर बहुत खुला है, तो बहुत बड़े कणों से गुजर सकता है और खरोंच का खतरा बढ़ सकता है।

इस कारण से सीएमपी फिल्टर चयन में फिल्टरेशन रेटिंग और वास्तविक स्लरी व्यवहार दोनों पर विचार किया जाना चाहिए, जिसमें कण आकार वितरण, चिपचिपाहट, प्रवाह दर, दबाव में गिरावट और फिल्टर जीवनकाल शामिल हैं.

सीएमपी फिल्टर कारतूस का उपयोग मल की आपूर्ति प्रणाली के विभिन्न बिंदुओं पर किया जा सकता है।

• स्लरी उत्पादन निस्पंदन
  अवांछित बड़े कणों को हटाने और उत्पाद की स्थिरता में सुधार करने के लिए स्लरी निर्माण या तैयारी के दौरान उपयोग किया जाता है।
• वितरण चक्र फ़िल्टरिंग
  भंडारण, पंप या परिवहन के दौरान उत्पन्न कणों को नियंत्रित करने के लिए स्लरी परिसंचरण प्रणालियों में उपयोग किया जाता है।
• उपयोग के बिंदु पर निस्पंदन
  स्लरी पॉलिशिंग पैड या वेफर सतह तक पहुंचने से पहले अंतिम कण नियंत्रण प्रदान करने के लिए सीएमपी उपकरण के पास स्थापित।
• उपकरण पक्ष सुरक्षा निस्पंदन
  नलिकाओं, वाल्वों और वितरण लाइनों को एग्लोमेरेट या प्रक्रिया अवशेषों के कारण होने वाली रुकावट से बचाने के लिए प्रयोग किया जाता है।

एक अच्छी तरह से डिज़ाइन की गई निस्पंदन प्रणाली कण भार को धीरे-धीरे कम करने और अंतिम उच्च-सटीक फिल्टर की सुरक्षा के लिए चरणबद्ध निस्पंदन का उपयोग कर सकती है।

सीएमपी निस्पंदन के लिए फिल्टर प्रदर्शन और स्लरी स्थिरता दोनों का सावधानीपूर्वक मूल्यांकन करना आवश्यक है।

• पहली चिंता कण नियंत्रण है। फिल्टर को प्रभावी रूप से अति-आकार के कणों और आघुलनों को हटाना चाहिए जो वेफर दोष का कारण बन सकते हैं।
• दूसरी चिंता स्लरी संगतता है। फ़िल्टर को उपयोगी घर्षण कणों के वितरण को महत्वपूर्ण रूप से नहीं बदलना चाहिए।
• तीसरी चिंता दबाव में गिरावट है। अत्यधिक दबाव में गिरावट स्लरी वितरण स्थिरता को प्रभावित कर सकती है और सिस्टम लोड को बढ़ा सकती है।
• चौथी चिंता रासायनिक संगतता है। फिल्टर सामग्री को स्लरी रसायन और संचालन की स्थिति से मेल खाना चाहिए।
• पांचवीं चिंता स्वच्छता है। अर्धचालक अनुप्रयोगों के लिए कम निष्कर्षण, कम कण बहाव और स्वच्छ विनिर्माण महत्वपूर्ण हैं।
• छठी चिंता सेवा जीवन है। फिल्टर को लगातार अवरुद्ध या समय से पहले प्रतिस्थापन के बिना स्थिर संचालन प्रदान करना चाहिए।
• सातवीं चिंता सीलिंग विश्वसनीयता है। कोई भी बायपास रिसाव निस्पंदन की प्रभावशीलता को कम कर सकता है और प्रक्रिया जोखिम को बढ़ा सकता है।

पुलनर सीएमपी स्लरी फिल्ट्रेशन और अर्धचालक से संबंधित उच्च शुद्धता वाले अनुप्रयोगों के लिए फिल्टर कारतूस समाधान प्रदान करता है। उपलब्ध फिल्टर मीडिया में यूपीई, पीपी, पीईएस, पीटीएफई, नायलॉन, पीवीडीएफ,और अन्य सामग्री विभिन्न प्रक्रिया आवश्यकताओं के अनुसार.

पुलनर ग्राहकों को स्लरी के प्रकार, निस्पंदन की स्थिति, प्रवाह दर, दबाव, तापमान, कण नियंत्रण लक्ष्य, मौजूदा फिल्टर मॉडल, चित्र,या नमूने.

ऐसे ग्राहकों के लिए जो मलबे के कणों से दूषित होने, उच्च दबाव में गिरावट, फिल्टर का छोटा जीवनकाल, अस्थिर चमकाने की क्षमता या आयातित फिल्टर प्रतिस्थापन की आवश्यकता का सामना करते हैं,पुलनर काम की स्थिति का विश्लेषण करने में मदद कर सकते हैं और एक उपयुक्त निस्पंदन समाधान की सिफारिश.

सीएमपी स्लरी फिल्टर कारतूस अर्धचालक चमकाने की प्रक्रियाओं में एक महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं।लेकिन यह भी स्लरी स्थिरता बनाए रखने और वेफर दोष जोखिम को कम करने के लिए.

एक उपयुक्त सीएमपी फिल्टर को कणों को हटाने, स्लरी संगतता, दबाव में गिरावट, प्रवाह प्रदर्शन, स्वच्छता और सेवा जीवन में संतुलन बनाना चाहिए।

पुलनर दुनिया भर में अर्धचालक ग्राहकों के लिए विश्वसनीय, लागत प्रभावी और अनुकूलित सीएमपी स्लरी फिल्टर कारतूस समाधान प्रदान करने के लिए प्रतिबद्ध है।